NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

特長


1. NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。




2. 低噪音、低振動




3. 優(yōu)良的耐腐蝕性




4. 標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。




5. 選購件




6. 可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮氣流量開關(guān)、泵溫傳感器。



用途


7. •  活性氣體（CVD、刻蝕等）。




8. •  排出非活性氣體（濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。




9. •  用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）




10. •  作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。




11. •  冷凍干燥等水蒸氣排氣。




• 技術(shù)參數(shù)

• 外形尺寸圖

• 抽氣速率曲線

* 1  極限壓力是氮氣（密封氣體）在5.0 SLM時的值。

* 2  無結(jié)露。

* 3  用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。

* 4  氮氣（密封氣體）流量5.0 SLM是固定值。