TG1400F

■ 任何方向

■ 緊湊尺寸

■ 節(jié)能

■ 快速啟動

■ 快速關(guān)閉并用煤氣排氣

■ 耐久的氣流沖擊結(jié)構(gòu)

■ 串行通信
※RS232C 串行接口

應用

■ 半導體生產(chǎn)

■ 電子槍排氣，電離源排氣

■ FPD制造

■ 表面處理，表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、測試設(shè)備

■ 燈具生產(chǎn)，光學元件生產(chǎn)

■ 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究

■ 熱處理

■ 研發(fā)

*如果排放腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用途TG-M系列或TG系列。

• 規(guī)格

• 尺寸

• 性能曲線

• 控制器

*1：使用500升/分鐘的備用真空泵時。

[環(huán)境溫度使用]

確保達到壓力的環(huán)境溫度范圍是10-23°C。允許的環(huán)境溫度為風冷類型為10-32°C，水冷類型為10-40°C。冷卻水的最高溫度（保證最終壓力）為30°C，冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。

[對應氣體]

一些服務氣體會腐蝕潤滑脂和內(nèi)部部件。請聯(lián)系大阪真空，獲取適用的燃氣類型列表。