TG2400F

■ 任何方向

■ 緊湊尺寸

■ 節(jié)能

■ 快速啟動(dòng)

■ 快速關(guān)閉并用煤氣排氣

■ 耐久的氣流沖擊結(jié)構(gòu)

■ 串行通信
※RS232C 串行接口

■ 認(rèn)證安全標(biāo)準(zhǔn)NRTL / SEMI-S2 / CE

應(yīng)用

■ 半導(dǎo)體生產(chǎn)

■ 電子槍排氣，電離源排氣

■ FPD制造

■ 表面處理，表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、測(cè)試設(shè)備

■ 燈具生產(chǎn)，光學(xué)元件生產(chǎn)

■ 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究

■ 熱處理

■ 研發(fā)

*如果排放腐蝕性氣體，請(qǐng)選擇我們的化學(xué)用途TG-M系列或TG系列。

• 規(guī)格

Model

TG2400F

TG2400F-40

Inlet flange

VG250/ISO-B250

Volume flow rate

N2 (L/s)

2400

N(with protective screen)

(L/s)

2300

H2 (L/s)

1100

Max. compression ratio

N2

1×108

H2

1.4×103

Base pressure

(Pa/Torr)

<1×10-6/<7.5×10-9

Max. throughput※1※2

(sccm)

900

1500

Startup time

(min)

5-7

Shutdown time

(min)

15-18

Max. backing pressure

(Pa/Torr)

200/1.5

Recommended backing

vacuum pump

(L/min)

≧500

Position

Any orientation

Weight (kg)

Air cooling

Water cooling

45

47

Controller

TC2403

TC2403-10※3

*1：使用1000升/分鐘的后備真空泵時(shí)。
*2：根據(jù)電源型號(hào)不同。
*3 ： TG2400F-40

[環(huán)境溫度使用]

確保達(dá)到壓力的環(huán)境溫度范圍是10-23°C。允許的環(huán)境溫度為風(fēng)冷類(lèi)型為10-32°C，水冷類(lèi)型為10-40°C。冷卻水的最高溫度（保證最終壓力）為30°C，冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。

[對(duì)應(yīng)氣體]

一些服務(wù)氣體會(huì)腐蝕潤(rùn)滑脂和內(nèi)部部件。請(qǐng)聯(lián)系大阪真空，獲取適用的燃?xì)忸?lèi)型列表。