TG2400F

■ 任何方向

■ 緊湊尺寸

■ 節能

■ 快速啟動

■ 快速關閉并用煤氣排氣

■ 耐久的氣流沖擊結構

■ 串行通信
※RS232C 串行接口

■ 認證安全標準NRTL / SEMI-S2 / CE

應用

■ 半導體生產

■ 電子槍排氣，電離源排氣

■ FPD制造

■ 表面處理，表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、測試設備

■ 燈具生產，光學元件生產

■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究

■ 熱處理

■ 研發

*如果排放腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用途TG-M系列或TG系列。

• 規格

Model

TG2400F

TG2400F-40

Inlet flange

VG250/ISO-B250

Volume flow rate

N2 (L/s)

2400

N(with protective screen)

(L/s)

2300

H2 (L/s)

1100

Max. compression ratio

N2

1×108

H2

1.4×103

Base pressure

(Pa/Torr)

<1×10-6/<7.5×10-9

Max. throughput※1※2

(sccm)

900

1500

Startup time

(min)

5-7

Shutdown time

(min)

15-18

Max. backing pressure

(Pa/Torr)

200/1.5

Recommended backing

vacuum pump

(L/min)

≧500

Position

Any orientation

Weight (kg)

Air cooling

Water cooling

45

47

Controller

TC2403

TC2403-10※3

*1：使用1000升/分鐘的后備真空泵時。
*2：根據電源型號不同。
*3 ： TG2400F-40

[環境溫度使用]

確保達到壓力的環境溫度范圍是10-23°C。允許的環境溫度為風冷類型為10-32°C，水冷類型為10-40°C。冷卻水的最高溫度（保證最終壓力）為30°C，冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。

[對應氣體]

一些服務氣體會腐蝕潤滑脂和內部部件。請聯系大阪真空，獲取適用的燃氣類型列表。